





像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,束斑可以看成是一个衍射波,中间呈类似高斯分布,只要半高宽和像素大致相等则视为匹配。而此时束斑的大小是大于像素的。
而且扫描电镜是靠电子束的扫描运动,只要不同像素点覆盖区域的电子产额能够被探测器有效处理和区分,那电镜图片也就能区分。所以扫描电镜是完全可分辨比束斑更小的细节的,而有点地方说扫描电镜不能区分比束斑更小的说法是不够严密的。束斑是单点像素1.3~2倍左右,都是匹配的条件。
tem系统由以下几部分组成
电子:发射电子,铁死亡透射电镜服务,由阴极、栅极、阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜,起到对电子束加速、加压的作用。
聚光镜:将电子束---,可用已控制照明强度和孔径角。
样品室:放置待观察的样品,并装有倾转台,用以改变试样的角度,还有装配加热、冷却等设备。
物镜:为放大率---的短距透镜,作用是放大电子像。物镜是决定透射电子显微镜分辨能力和成像的关键。
中间镜:为可变倍的弱透镜,作用是对电子像进行二次放大。通过调节中间镜的电流,可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。
透射镜:为高倍的强透镜,用来放大中间像后在荧光屏上成像。此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。
阳极 为一中心有孔的金属圆筒,处在阴极下方,当阳极上加有 数十千伏或上百千伏的正高压??加速电压时,将对阴极受热发射出来的自由电子产生---的引力作用,并使之从杂乱无章的状态变为有序的定向运动, 同时把自由电子加速到一定的运动速度(与加速电压有关,前面已经讨论过), 形成一股束流射向阳极靶面。凡在轴心运动的电子束流,将穿过阳极中心的圆孔射出电子外,成为照射样品的光源。

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