





扫描电镜虽然是显微镜家族中的后起之秀,但由于其本身具有许多的优点,发展速度是很快的。
1 仪器分辨率较高,叶绿体电镜技术服务,通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节,采用lab6电子,可以进一步提高到3nm。
2 仪器放大倍数变化范围大,且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察,同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。
还有一种新型的电子场发射式电子---,由1个阴极和2个阳极构成,阳极上施加一稍低(相对第2阳极)的吸附电压,用以将阴极上面的自由电子吸引出来,而第2阳极上面的---电压,将自由电子加速到---的速度发射出电子束流。这需要电压和真空为工作条件,它工作时要求真空度达到10-7pa,热损耗,使用寿命可达2000 h;电子束斑的光点更为尖细,直径可达到10nm以下,较钨丝阴极(大于10nm)缩小了3个数量级;由于发光,它发出光斑的亮度能达到10 a/cm·s,较钨丝阴极(106 a/cm·s )也提高了3个数量级。场发射式电子因技术---、造价昂贵,只应用于高分辨电镜当中。

电子束穿过样品时会携带有样品的信息,tem的成像设备使用这些信息来成像。投射透镜将处于正确位置的电子波分布投射在观察系统上。观察到的图像强度,i,在假定成像设备---的情况下,近似的与电子波函数的时间平均幅度成正比。若将从样品射出的电子波函数表示为ψ,则不同的成像方法试图通过修改样品射出的电子束的波函数来得到与样品相关的信息。根据前面的等式,可以推出观察到的图像强度依赖于电子波的幅度,同时也依赖于电子波的相位。虽然在电子波幅度较低的时候相位的影响可以忽略不计,但是相位信息仍然非常重要。

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