扫描电子显微镜电子发射出的电子束经过---后汇聚成点光源；点光源在加速电压下形成高能电子束；高能电子束经由两个电磁透镜被---成直径微小的光点，在透过后一级带有扫描线圈的电磁透镜后，电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面，同时激发出不同---的电子信号。此时，电子信号会被样品上方不同信号的探头接收，通过放大器同步传送到电脑显示屏，形成实时成像记录（图a）。由入射电子轰击样品表面激发出来的电子信号有：俄歇电子（au e）、二次电子（se）、背散射电子（bse）、x射线（特征x射线、连续x射线）、阴极荧光（cl）、吸收电子（ae）和透射电子（图b）。每种电子信号的用途因作用---而异。
c1、c2的工作原理是通过改变聚光透镜线圈中的电流，来达到改变透镜所形成的磁场强度的变化，磁场强度的变化（亦即折射率发生变化）能使电子束的会聚点上下移动，在样品表面上电子束斑会聚得越小，能量越集中，亮度也越大；反之束斑发散，照射区域变大则亮度就减小。通过调整聚光镜电流来改变照明亮度的方法，实际上是一个间接的调整方法，亮度的大值受到电子束流量的---。如想程度上改变照明亮度，只有通调整前面提到的电子---中的栅极偏压，才能从---上改变电子束流的大小。在c2上通常 装配有活动光阑，透射电镜连续切片三维重构检测服务，用以改变光束照明的孔径角，一方面可以---投射在样品表面的照明区域，使样品上无需观察的部分免受电子束的轰击损伤；另一方面也能减少散射电子等不利信号带来的影响。
在扫描电镜中，入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就---了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步，---了样品上的“物点”与荧光屏上的“象点”在时间和空间上一一对应，称其为“同步扫描”。一般扫描图象是由近100万个与物点一一对应的图象单元构成的，正因为如此，才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外，还能将样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示。
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