进行材料断口的分析。扫描电子显微镜的另一个重要特点是景深大，图象富有立体感。扫描电子显微镜的焦深比透射电子显微镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。由于图象景深大，故所得扫描电子象富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜多得多的信息，这个特点对使用者很有价值。扫描电子显微镜所显示的断口形貌从深层次、高景深的角度呈现材料断裂的本质，在教学、科研和生产中，有的作用，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。
所以反映在电镜图像上，改变焦距的时候会出现两个---的拉伸，拉伸方向可能因样品而不同，但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，进行消像散线圈的调节，先调x或y中的一个维度，待图像达到清楚后再调节另一个维度。
有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，比如孔洞或者颗粒，或者样品边缘，都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。
电子束的扫描是根据放大倍数和采集像素大小而进行了马赛克的像素化，只要束斑缩小到和单点像素匹配就可以，束斑与束斑之间不会出现太多的重叠而导致分辨率下降。只有束斑与单点像素匹配后，再缩小束斑已经没有意义，透射电镜三维重构技术服务，不会带来分辨率的提升，相反会引起信息的缺失。由此我们可以得到新的结论，虽然束斑越小理论分辨率越高，但是对于实际拍摄来说，像素和束斑越匹配才是效果越好。
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